[发明专利]自动添加装置、蚀刻生产线、添加方法有效
申请号: | 201910859948.5 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110528006B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 罗欢 | 申请(专利权)人: | 上海八菱环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C23F1/18;C23F1/08;C25C1/12 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 李海燕 |
地址: | 201806 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及自动添加装置、蚀刻生产线、添加方法,所述中转漏斗(11)用于投放物料;所述漏斗底阀(12)的一端与中转漏斗(11)的底部连接,漏斗底阀(12)的另一端连接有添加管道(15);在添加管道(15)的上端设置有第一管道电磁阀(13);在添加管道(15)的下端设置有第二管道电磁阀(20);所述高压气管(14)的一端与添加管道(15)连通,且设置在第一管道电磁阀(13)、第二管道电磁阀(20)之间;所述高压气管(14)的另一端与气泵连接;采用本发明的自动添加装置、蚀刻生产线、添加方法,能够较好的维持蚀刻生产线的溶液平衡。 | ||
搜索关键词: | 自动 添加 装置 蚀刻 生产线 方法 | ||
【主权项】:
1.一种酸性蚀刻液循环再生系统中固体氧化剂的自动添加装置,其特征在于,包括:中转漏斗(11)、漏斗底阀(12)、第一管道电磁阀(13)、高压气管(14)、添加管道(15)、第二管道电磁阀(20);/n所述中转漏斗(11)用于投放物料;/n所述漏斗底阀(12)的一端与中转漏斗(11)的底部连接,漏斗底阀(12)的另一端连接有添加管道(15);/n在添加管道(15)的上端设置有第一管道电磁阀(13);/n在添加管道(15)的下端设置有第二管道电磁阀(20);/n所述高压气管(14)的一端与添加管道(15)连通,且设置在第一管道电磁阀(13)、第二管道电磁阀(20)之间;/n所述高压气管(14)的另一端与气泵连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海八菱环保科技有限公司,未经上海八菱环保科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910859948.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种金属离子辅助刻蚀多孔硅的制备方法
- 下一篇:一种耐腐蚀水基金属防锈剂