[发明专利]一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置在审
| 申请号： | 201910855138.2 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110747442A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李醒飞;杨安琪;夏赣民 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置，旋转装置安装于磁控溅射镀膜机的真空室内，磁控溅射镀膜机的真空室内设有外圆盘和旋转圆盘；外圆盘上设置有外盘支架，旋转圆盘上设有轴盘连接件；旋转装置包括相啮合的第一伞形齿轮和第二伞形齿轮；第一伞形齿轮和第二伞形齿轮分别设有台阶，第一伞形齿轮的连接轴的一端和第二伞形齿轮的连接轴的一端相互垂直连接形成有L形轴，第一伞形齿轮的连接轴的另一端与所述轴盘连接件连接，第一伞形齿轮的台阶与外盘支架连接；第二伞形齿轮的台阶通过螺柱连接有被镀件辅件，被镀件辅件上依次套接有第一弹性挡圈、空心圆柱形被镀件和第二弹性挡圈。 | ||
| 搜索关键词： | 伞形齿轮 镀件 旋转装置 连接轴 磁控溅射镀膜机 空心圆柱形 弹性挡圈 旋转圆盘 连接件 外圆盘 辅件 外盘 轴盘 外表面镀膜 啮合 室内 垂直连接 螺柱连接 支架连接 套接 支架 | ||
【主权项】：
1.一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置，包括磁控溅射镀膜机和空心圆柱形被镀件，磁控溅射镀膜机的真空室内设有外圆盘和旋转圆盘；其特征在于，所述旋转装置安装于磁控溅射镀膜机的真空室内，所述外圆盘上设置有外盘支架，所述旋转圆盘上设有轴盘连接件；所述旋转装置包括相啮合的第一伞形齿轮和第二伞形齿轮，用以改变空心圆柱形被镀件的旋转方向与转速；/n所述第一伞形齿轮和第二伞形齿轮分别设有台阶，所述台阶上设有用于固定的螺纹孔，第一伞形齿轮的连接轴的一端和第二伞形齿轮的连接轴的一端相互垂直连接形成有L形轴，第一伞形齿轮的连接轴的另一端与所述轴盘连接件连接，所述第一伞形齿轮的台阶与外盘支架通过螺柱连接；/n第二伞形齿轮的连接轴上设有轴肩；所述第二伞形齿轮的轴孔内套接有微型轴承并通过所述轴肩限制微型轴承的轴向位移，所述第二伞形齿轮的台阶通过螺柱连接有被镀件辅件，所述被镀件辅件上依次套接有第一弹性挡圈、空心圆柱形被镀件和第二弹性挡圈，通过第一弹性挡圈和第二弹性挡圈限制空心圆柱形被镀件的轴向位移。/n
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