[发明专利]压印方法和物品制造方法在审
| 申请号： | 201910852935.5 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110888299A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 塩出吉宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印方法和物品制造方法。一种压印方法包括如下步骤：将压印材料以微滴布置在基板的投射区域上，使投射区域的一部分上的压印材料与模具的图案区域接触并且然后将该压印材料和该图案区域之间的接触区域扩大到投射区域的整个区域，以及固化压印材料。在布置步骤中，在从投射区域的所述一部分沿径向方向定位的多个局部区域中的每一个中，压印材料被布置成使得在平行于与径向方向正交的方向且其上存在多滴压印材料的线上的压印材料的定向滴密度小于在平行于径向方向且其上存在多滴压印材料的线上的压印材料的定向滴密度。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 物品 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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