[发明专利]激光烧蚀装置和制造显示设备的方法在审
| 申请号： | 201910835492.9 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110893508A | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 金俊亨;蔡永洙;金佑玹;李承俊 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/36;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光烧蚀装置和制造显示设备的方法。该激光烧蚀装置包括：激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，激光光束发生器使用固态激光器；输出光束发生器，用于使用激光光束产生输出光束；以及基板台架，包括其上布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在载体基板上。输出光束发生器可以包括：混合器，用于通过将激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；以及光成型机，用于使用混合激光光束产生输出光束。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 制造 显示 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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