[发明专利]一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件在审
| 申请号： | 201910814429.7 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110453188A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 50219 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程宇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518103广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，磁钢芯轴外周设置有轴承；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；靶管设置在磁钢的外周，靶管的下部与第二传动部件传动连接；磁钢摆动传动件一端与第一传动部件传动连接，另一端与马达动力连接；靶管旋转传动件的一端与第二传动部件传动连接，另一端连接动力机构。本发明中，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。 | ||
| 搜索关键词： | 磁钢 传动部件 靶管 磁钢芯轴 传动连接 装置本体 端头 旋转传动件 摆动传动 外周 轴承 安装空间 动力机构 动力连接 端头组件 溅射沉积 一端连接 真空腔体 转动安装 转动设置 摆动式 盖板 靶材 产线 马达 优化 | ||
【主权项】：
1.一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，包括装置本体(3)、磁钢(1)、靶管(2)、磁钢芯轴(6)、轴承(7)、盖板(4)、端头(5)、第一传动部件(8)、第二传动部件、靶管旋转传动件(9)和磁钢摆动传动件(10)；/n磁钢(1)与靶管(2)均转动设置在装置本体(3)内部；装置本体(3)设置在端头(5)的上方；盖板(4)设置在端头(5)的一侧；其中，盖板(4)朝向装置本体(3)与端头(5)的一侧为真空环境，盖板(4)另一侧为大气环境；/n磁钢(1)的底部与磁钢芯轴(6)连接；磁钢芯轴(6)转动安装在端头(5)内部，其中，磁钢芯轴(6)顶部和中部的外周均设置有轴承(7)，轴承(7)设置在端头(5)内部；磁钢芯轴(6)下部与第一传动部件(8)传动连接；/n靶管(2)与端头(5)通过卡箍连接，磁钢(1)设置在靶管(2)内部；靶管(2)的下部与第二传动部件传动连接；/n磁钢摆动传动件(10)的一端穿过盖板(4)伸入端头(5)内部并与第一传动部件(8)传动连接，其另一端与马达动力连接；/n靶管旋转传动件(9)的一端穿过盖板(4)伸入端头(5)内部并与第二传动部件传动连接，其另一端连接动力机构。/n
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