[发明专利]一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法

摘要

本发明公开了一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法，包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置，每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座；横向保温支撑环设在中部碳基保温筒和下部碳基保温筒之间，并与中部保温支撑筒底部相连；托板一端与横向保温支撑环相连，另一端与支撑连杆的顶端相连；支撑连杆位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内，另一端从炉底板中穿出，并与升降底座相连；波纹软管套装在支撑连杆外周；波纹软管内呈真空状态；波纹软管的长度能够伸缩，升降底座的高度能够升降。本申请能将热场的冷却时间缩短50%以上，并且拆炉时热场温度能控制在100‑200℃，减弱热场氧化，提高石墨件使用寿命，降低生产成本。

主权项

1.一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置，其特征在于：包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置，每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座；/n直拉法单晶炉包括炉筒、炉盖、炉底板、碳基保温筒和碳基支撑筒；/n炉盖设置在炉筒顶部，炉底板位于炉筒底部，炉筒、炉盖和炉底板共同围合形成密闭的真空腔体；/n碳基保温筒同轴套设在炉筒的内侧，从上至下依次包括上部碳基保温筒、中部碳基保温筒和下部碳基保温筒；/n碳基支撑筒同轴设置在碳基保温筒的内侧，从上至下依次包括上部保温支撑筒、中部保温支撑筒和下部保温支撑筒，分别用于支撑上部碳基保温筒、中部碳基保温筒和下部碳基保温筒；/n横向保温支撑环设置在中部碳基保温筒的底部，并与中部保温支撑筒底部相连接；托板一端与横向保温支撑环相连接，另一端与支撑连杆的顶端相连接；支撑连杆竖向设置，且位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内，支撑连杆的另一端从炉底板中穿出，并与升降底座相连接；/n波纹软管套装在位于炉底板和升降底座之间的支撑连杆外周，且波纹软管顶部与炉底板密封连接，波纹软管底部与升降底座密封连接；波纹软管内呈真空状态；/n波纹软管的长度能够伸缩，升降底座的高度能够升降。/n