[发明专利]一种基于磁力感测的形状探针并行制作微平台及制作方法有效
| 申请号： | 201910791609.8 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110488208B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 沈斐玲;曹宁;李恒宇;岳涛;谢少荣;罗均 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01R33/038 | 分类号： | G01R33/038 |
| 代理公司： | 郑州翊博专利代理事务所(普通合伙) 41155 | 代理人： | 付红莉;周玉青 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳技术领域，具体公开了一种基于磁力感测的形状探针并行制作微平台及制作方法，所述微平台包括基础平台，基础平台上设有探针轴向间距调整单元，探针轴向间距调整单元包括至少两个滚轴丝杠螺母台，每个滚珠丝杠螺母台上设有旋转动力单元，各旋转动力单元同轴线设置，每个旋转动力单元上安装有磁力感测模块，磁力感测模块上固定连接有周向旋转模块，各周向旋转模块通过旋转动力单元做同轴线转动；周向旋转模块上内嵌有探针并行装夹单元，探针并行装夹单元上装夹有多个平行设置的探针，每个探针依次贯穿各个周向旋转模块。本发明的微平台具有结构简单、磁力感测、并行制作、同时批量制作复杂相似探针形状等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁力 形状 探针 并行 制作 平台 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于磁力感测的形状探针并行制作微平台，其特征在于，包括基础平台，基础平台上设有探针轴向间距调整单元，探针轴向间距调整单元包括至少两个滚轴丝杠螺母台，每个滚珠丝杠螺母台上设有旋转动力单元，各旋转动力单元同轴线设置，每个旋转动力单元上安装有磁力感测模块，磁力感测模块上固定连接有周向旋转模块，各周向旋转模块通过旋转动力单元同轴线转动；周向旋转模块上内嵌有探针并行装夹单元，探针并行装夹单元上装夹有多个平行设置的探针，每个探针依次贯穿各个周向旋转模块。/n
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