[发明专利]石英玻璃缺陷的非直观光学检测装置及方法在审
| 申请号： | 201910788281.4 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110596148A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 鄢军勇;赵文婧;邓雨晴;徐彬;赵学峰 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/88;G01N21/21 |
| 代理公司： | 32203 南京理工大学专利中心 | 代理人： | 唐代盛 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种石英玻璃缺陷的非直观光学检测装置及方法，方法具体为将待测石英玻璃试样放在载物台，卤素灯光源经过下方旋转偏振片后透过待测石英玻璃试样，透射光经过显微物镜、上方旋转偏振片在CMOS或CCD相机上成像，对多幅图像进行反推演计算得到非直观图像。本发明采用旋转正交偏振的光波参数成像方法反演获得伪彩色图像，分辨率高。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃试样 旋转偏振片 卤素灯光源 伪彩色图像 参数成像 多幅图像 检测装置 石英玻璃 显微物镜 正交偏振 直观图像 光波 透射光 载物台 分辨率 推演 反演 成像 观光 | ||
【主权项】：
1.一种石英玻璃缺陷的非直观光学检测装置，其特征在于，包括灯光源(1)、第一偏振片(2)、载物台(3)、显微物镜(4)、第二偏振片(5)、CMOS或CCD相机(6)、成像模块(7)、旋转电机驱动装置(8)、第二旋转电机(9)以及第一旋转电机(10)，所述第一偏振片(2)正对灯光源(1)设置，所述载物台(3)正对第一偏振片(2)设置，所述显微物镜(4)正对载物台(3)设置，所述第二偏振片(5)正对显微物镜(4)设置，所述CMOS或CCD相机(6)正对第二偏振片(5)设置，所述旋转电机驱动装置(8)用于驱动第二旋转电机(9)以及第一旋转电机(10)带动分别带动第一偏振片(2)及第二偏振片(5)旋转，所述第一偏振片(2)及第二偏振片(5)的透光轴互相正交，所述成像模块(7)用于根据CMOS或CCD相机(6)拍摄的图像获得样品的非直观图像。/n
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