[发明专利]晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法有效
| 申请号： | 201910788131.3 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110504000B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 唐鹿俊;郑鹏飞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/00 | 分类号： | G11C29/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息判断是否为匹配的探针卡。本发明能最大限度地减少换错探针卡所带来的损失，测试机能够自动获取探针卡存储芯片里的正确信息。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆级 测试 识别 探针 信息 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；/n步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；/n步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息，判断是否为匹配的探针卡。/n
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