[发明专利]基于激光诱导光热效应的三维吸收特性检测装置和方法在审

专利信息
申请号: 201910777158.2 申请日: 2019-08-22
公开(公告)号: CN110470632A 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 陈坚;吴周令;马亮;俞伟洋 申请(专利权)人: 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39;G01N21/41
代理公司: 34115 合肥天明专利事务所(普通合伙) 代理人: 韩燕<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 230031 安徽省合肥市高新*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种基于激光诱导光热效应的三维吸收特性检测装置和方法,三维吸收特性检测装置包括有朝向待测样品的泵浦光源和探测光源,从前往后顺次设置的第一探测光收集透镜、第一探测光空间滤光器和第一光电探测器,从前往后顺次设置的第二探测光收集透镜、第二探测光空间滤光器和第二光电探测器,以及用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置,待测样品反射出的探测光束朝向第一探测光收集透镜的入射面,待测样品透射出的探测光束朝向第二探测光收集透镜的入射面。本发明对材料的二维表面吸收特性分布和三维体内吸收特性分布进行测量,克服了常用光学吸收检测方法缺少三维空间分辨能力、不能区分二维表面吸收和三维体内吸收的问题。
搜索关键词: 探测光 待测样品 收集透镜 吸收特性 三维 光电探测器 空间滤光器 二维表面 检测装置 探测光束 体内吸收 入射面 三维空间 泵浦光源 分辨能力 光热效应 光学吸收 激光诱导 探测光源 样品扫描 运动装置 透射 反射 测量 驱动 检测 吸收 移动
【主权项】:
1.基于激光诱导光热效应的三维吸收特性检测装置,其特征在于:包括有从前往后顺次设置的泵浦光源和泵浦光调制装置,从前往后顺次设置的第一探测光收集透镜、第一探测光空间滤光器和第一光电探测器,从前往后顺次设置的第二探测光收集透镜、第二探测光空间滤光器和第二光电探测器,以及探测光源和用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置,所述的泵浦光调制装置的出射端、探测光源均朝向固定于样品扫描运动装置上的待测样品上表面的同一辐照点,所述的待测样品上表面反射出的探测光束朝向第一探测光收集透镜的入射面,所述的待测样品下表面透射出的探测光束朝向第二探测光收集透镜的入射面。/n
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