[发明专利]一种紧凑型二维微纳伺服平台有效
| 申请号： | 201910754338.9 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110415761B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;田野;鲁帅帅;张庆怡 | 申请（专利权）人： | 山东大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 曹玉琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种紧凑型二维微纳伺服平台，包括基座、位移放大机构，所述基座上设置有十字开槽，所述开槽的其中两个相邻的槽口向外延伸形成长槽口，所述微动平台呈正方形安装在开槽中心处，两个位移放大机构分别安装在长槽口内用于分别实现X轴方向、Y轴方向位移驱动；每个位移放大机构对应设置有主导向机构、副导向机构、位移传感器；所述主导向机构、副导向机构安装在开槽内且设置于微动平台相对的两侧，主导向机构位于微动平台与位移放大机构之间，主导向机构通过柔性铰链与位移放大机构连接，微动平台端面通过柔性铰链与主导向机构、副导向机构连接。本伺服平台具有结构紧凑、位移放大倍数高、无摩擦磨损、无需润滑、基座材料利用率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑型 二维 伺服 平台 | ||
【主权项】：
1.一种紧凑型二维微纳伺服平台，包括基座、位移放大机构，其特征在于：所述基座上设置有十字开槽，所述开槽的其中两个相邻的槽口向外延伸形成长槽口，所述微动平台呈正方形安装在开槽中心处，两个位移放大机构分别安装在长槽口内用于分别实现X轴方向、Y轴方向位移驱动；每个位移放大机构对应设置有主导向机构、副导向机构、位移传感器；所述主导向机构、副导向机构安装在开槽内且设置于微动平台相对的两侧，主导向机构位于微动平台与位移放大机构之间，主导向机构通过柔性铰链与位移放大机构连接，微动平台端面通过柔性铰链与主导向机构、副导向机构连接；所述位移传感器安装在基座上且对应副导向机构位置设置。
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