[发明专利]光学检测系统及方法有效
申请号: | 201910747399.2 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN110376213B | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 陈琪;张礼朝;李晓春 | 申请(专利权)人: | 深圳市麓邦技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/93 | 分类号: | G01N21/93;G01N21/88;G01N21/21;G01N21/55 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光学技术领域,公开一种光学检测系统及方法,以快速完成物体表面的缺陷检测。本发明系统包括:多光谱光源;位于所述多光谱光源与待测物体之间的偏转装置,用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光束分别偏转到与波长大小相对应的方向上,并将偏转后不同波长的光束出射至所述待测物体;数据处理装置,用于接收由所述待测物体表面反射的光束,并将该反射光谱与对应标准件反射的参考标定光谱进行光谱差异对比,确定发生差异的波长,进而根据发生差异的波长计算所述待测物体表面缺陷所对应的空间坐标。 | ||
搜索关键词: | 光学 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学检测系统,其特征在于,包括:多光谱光源;位于所述多光谱光源与待测物体之间的偏转装置,用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光束分别偏转到与波长大小相对应的方向上,并将偏转后不同波长的光束出射至所述待测物体;数据处理装置,用于接收由所述待测物体表面反射的光束,并将该反射光谱与对应标准件反射的参考标定光谱进行光谱差异对比,确定发生差异的波长,进而根据发生差异的波长计算所述待测物体表面缺陷所对应的空间坐标。
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