[发明专利]一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置

摘要

本发明实施例公开了一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，所述装置包括检测单元和计算单元，基于气体热导率原理，由于氖气中单项杂质气体的存在导致混合待测气体的热导率相对于纯氖气发生了变化，将此热导率的变化引起的热敏电阻的阻值变化通过惠斯通电桥进行检测，并计算出混合待测气体的热导率，从而获得氖气中杂质气体的含量，可以实现对氖气中单项常量杂质气体含量的在线检测，相比于色谱分离检测的方式，既极大地节省成本，又达到实时检测的目地，解决了流程控制上困难的问题。

主权项

1.一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述装置包括检测单元和计算单元；所述检测单元包括四组恒温热导池，所述恒温热导池内均设置有热敏电阻，四组所述恒温热导池中两组作为参比池，其余两组作为测量池，所述参比池内封装参比气体，所述测量池内流通待测气体，所述待测气体为包含单项常量杂质气体的氖气，四组所述热敏电阻构成惠斯通电桥，两组参比池的热敏电阻或两组测量池的热敏电阻彼此相对布置，所述惠斯通电桥内通有恒定电流；所述计算单元用于根据所述惠斯通电桥输出的不平衡电势计算所述测量池内热敏电阻的电阻值，根据所述电阻值计算得到待测气体的热导率，并根据所述热导率计算待测气体中杂质气体的含量。