[发明专利]一种半导体废水的处理方法在审
申请号: | 201910730408.7 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110498543A | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 施国新;钱震;马辑;沈培新;李宇庆 | 申请(专利权)人: | 苏州苏净环保工程有限公司 |
主分类号: | C02F9/06 | 分类号: | C02F9/06;C02F103/34 |
代理公司: | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 向亚兰<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体废水的处理方法,其包括:将半导体废水的pH值至8‑9后依次经混凝处理、浓缩处理、管式微滤膜系统处理、活性炭处理、一级反渗透处理、二级反渗透处理、连续电除盐方法处理,获得可直接应用的回用水,其中将管式微滤膜产水调节pH至6.5‑7后再采用活性炭处理,控制管式微滤膜系统处理所得部分泥水混合物回流至浓缩槽,一级反渗透浓水、二级反渗透浓水分别通入螯合树脂离子交换器,处理后可直接应用于工艺;本发明能够实现有效且高效地处理半导体废水,出水水质稳定,可直接将废水制成纯水而应用于生产上,水质电阻率达到15MΩ·cm以上,实现生产的闭路循环。 | ||
搜索关键词: | 半导体废水 滤膜 二级反渗透 活性炭处理 一级反渗透 系统处理 浓水 应用 泥水混合物回流 离子交换器 闭路循环 产水调节 出水水质 混凝处理 浓缩处理 螯合树脂 电除盐 电阻率 回用水 控制管 浓缩槽 废水 水质 生产 | ||
【主权项】:
1.一种半导体废水的处理方法,其特征在于,所述处理方法包括如下步骤:/n(1)将半导体废水的pH值调整至8-9,加入混凝剂进行混凝反应,再经浓缩槽浓缩;/n(2)将经步骤(1)处理的半导体废水通入管式微滤膜系统进行处理,获得管式微滤膜产水和泥水混合物,控制部分泥水混合物回流至所述浓缩槽;/n(3)将步骤(2)所得管式微滤膜产水调节pH至6.5-7后通入活性炭过滤器进行处理,获得活性炭产水;/n(4)将步骤(3)所得活性炭产水通入一级反渗透系统进行处理,一级反渗透膜的压力控制在0.9-1MPa,获得一级反渗透产水和一级反渗透浓水,所得一级反渗透浓水通入螯合树脂离子交换器;/n(5)将步骤(4)所得一级反渗透产水通入二级反渗透系统进行处理,获得二级反渗透产水和二级反渗透浓水,所得二级反渗透浓水通入所述螯合树脂离子交换器中进行处理;/n(6)将步骤(5)所得二级反渗透产水通入连续电除盐系统进行处理,获得回用水。/n
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