[发明专利]微透镜母模制造方法及微透镜母模在审
| 申请号： | 201910729833.4 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN112346153A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄玲玲 | 申请（专利权）人： | 北京万应科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种微透镜母模制造方法及微透镜母模，包括：在衬底上沉积金属连接层；在金属连接层上涂敷光刻胶；在所述光刻胶上光刻图形，形成光刻图像；蚀刻金属连接层，将相邻光刻图像之间的金属连接层去除；去除光刻胶；将金属球体植在金属连接层上；对金属球体进行高温真空回流处理，形成金属半球，所述金属半球的外径与光刻图像的半径相等；所述金属半球降温固化，得到微透镜母模。利用本发明实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用高温真空回流技术，使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 制造 方法 | ||
【主权项】：
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