[发明专利]基于二氧化钛有机-无机光敏复合薄膜异形凸透镜阵列的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于二氧化钛有机‑无机光敏复合薄膜异形凸透镜阵列的制备方法，首先利用光刻技术制造出具有规则排列的光刻胶柱体结构，再对得到的结构加热进行热回流处理，得到凸透镜阵列的母版结构，然后在母版上浇注PDMS，热固化后复制得到具有凹透镜阵列结构的软模板，最后通过紫外软压印技术在二氧化钛有机‑无机光敏复合薄膜上制备得到凸透镜阵列结构。最终得到的异形凸透镜阵列结构的形状和尺寸可以根据不同的母版形状和尺寸进行调节，而凸透镜阵列结构的基本光学参数可通过调节光敏复合材料的折射率等实现。本发明具有制作快速，成本低，转移精度高，重复性强的优点。

主权项

1.一种基于二氧化钛有机‑无机光敏复合薄膜异形凸透镜阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)具有异形图形的铬阵列掩模板在光刻机上接触式曝光，然后在PGEMA的显影液中显影得到柱体阵列结构，然后将所得到的柱体阵列结构在热板上热回流，得到具有凸透镜阵列结构的光刻胶母版；(2)将PDMS预固物和固化剂按10:1～2的质量比在纸杯中混合搅匀，静置10分钟左右去除大的气泡，再放入真空干燥箱中直至内部气泡完全去除，然后，将其浇注在步骤(1)所制得的母版上烘干固化，最后将固化完全的PDMS剥离，得到具有凹透镜阵列结构的PDMS软模板；(3)将利用溶胶‑凝胶法制得具有紫外光敏特性的二氧化钛有机无机复合薄膜，旋涂在载玻片上作为压印层，然后将步骤(2)制得的PDMS软模板压印到复合薄膜上，并置于氙灯下紫外曝光固化，静置后，将PDMS软模板从完全固化的复合薄膜上剥离，最后压印后的载玻片放入烘箱中干燥，从而在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备得到了具有异形的凸透镜阵列。