[发明专利]下部电极检测系统在审
| 申请号： | 201910725459.0 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110346669A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 梁君;李东一 | 申请（专利权）人： | 重庆臻宝实业有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/02 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 周云涛 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种下部电极检测系统，包括检测箱，所述检测箱呈中空结构，其内部具有检测室；真空泵，其用于对所述检测室进行抽真空操作；导电接头，其竖向设置于检测室内，所述检测箱外侧壁上设有与该导电接头导通的检测接驳口。采用以上方案，充分模拟下部电极使用环境，排除环境空气及湿度等影响，快速检测下部电极电阻及漏电流等指标，大大提高检测效率和检测质量，有效防止不合格下部电极板用于生产，有利于提高后期蚀刻产品的良品率，同时减少安全事故。 | ||
| 搜索关键词： | 下部电极 检测箱 检测 导电接头 检测系统 检测室 蚀刻 安全事故 环境空气 快速检测 使用环境 竖向设置 中空结构 抽真空 接驳口 良品率 漏电流 外侧壁 真空泵 导通 电阻 室内 生产 | ||
【主权项】：
1.一种下部电极检测系统，其特征在于，包括：检测箱(1)，所述检测箱(1)呈中空结构，其内部具有检测室(10)；真空泵(2)，其用于对所述检测室(10)进行抽真空操作；导电接头(3)，其竖向设置于检测室(10)内，所述检测箱(1)外侧壁上设有与该导电接头(3)导通的检测接驳口(11)。
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