[发明专利]一种改进型低温泵结构有效
申请号: | 201910711007.7 | 申请日: | 2019-08-02 |
公开(公告)号: | CN112302903B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 毛文瑞;王为民;杜建伟 | 申请(专利权)人: | 上海优拓低温技术有限公司 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08 |
代理公司: | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人: | 唐海波 |
地址: | 201109 上海市闵行区园区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种改进型低温泵结构,包括多片挡板,从上往下都有间隙通道,挡板之间互相遮挡,径向不能直线穿透,允许防辐射屏蔽筒外部的气体进入内部,进而到达二级冷伞表面被冷凝或者吸附;消除了低温泵内部的局部高压,减小了低温泵的极限压力,由此也增加了低温泵对Ⅱ类气体的抽气速度;并且防辐射屏蔽筒外部的气体可以到达二级冷伞下部分,在二级冷伞下侧几层冷伞片上冷凝,使得二级冷伞下侧几层冷伞片的低温表面能够冷凝更多的气体,二级冷伞的所有冷伞片低温表面得到更充分的利用;低温泵对Ⅱ类气体的抽气容量增加,减少了低温泵的再生频次。 | ||
搜索关键词: | 一种 改进型 低温泵 结构 | ||
【主权项】:
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