[发明专利]一种零件表面平面度的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201910693000.7 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110470250B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 闫春莲 | 申请（专利权）人： | 湖北三江航天万山特种车辆有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 寇俊波 |
| 地址： | 432000*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种零件表面平面度的检测装置及检测方法，工作台上安装有水平导轨和驱动机构，导轨上安装有卡紧标准样块或被测零件的多爪卡盘，驱动机构驱动导轨在工作台上运动；支架上安装有双狭缝干涉成像系统、光学成像传感器和两个可调光源，双狭缝干涉成像系统位于多爪卡盘的正上方，光学成像传感器获取标准样块或被测零件的干涉条纹图像，两个可调光源位于双狭缝干涉成像系统的两侧；图像处理系统与光学成像传感器相连，对标准样块和被测零件的干涉条纹图像进行处理，得到标准干涉条纹图谱和被测干涉条纹图谱；计算被测干涉条纹图谱与标准干涉条纹图谱之间的偏差量，得到被测零件的表面平面度。本发明高精度、快速的完成零件表面平面度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 零件 表面 平面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种零件表面平面度的检测装置，其特征在于，包括：工作台、支架和图像处理系统；/n所述工作台上安装有水平导轨和驱动机构，所述导轨上安装有用于水平卡紧标准样块或被测零件的多爪卡盘，所述驱动机构用于驱动所述导轨在所述工作台上运动；/n所述支架上安装有双狭缝干涉成像系统、光学成像传感器和两个可调光源，所述双狭缝干涉成像系统位于所述多爪卡盘的正上方且双狭缝板水平，所述光学成像传感器用于获取所述标准样块或被测零件经所述双狭缝干涉成像系统后的干涉条纹图像；两个所述可调光源位于所述双狭缝干涉成像系统的两侧，用于调整光源照射角度，以适应不同被测零件照明的需求；/n所述图像处理系统与所述光学成像传感器相连，用于对所述标准样块和被测零件的干涉条纹图像进行处理，得到标准干涉条纹图谱和被测干涉条纹图谱；计算所述被测干涉条纹图谱与所述标准干涉条纹图谱之间的偏差量，得到所述被测零件的表面平面度。/n
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