[发明专利]一种单晶炉及其坩埚托杆在审
申请号: | 201910676402.6 | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN110257900A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 杨俊;张涛;邓清香;汪沛渊;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘新雷 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种坩埚托杆,包括用以支撑连接坩埚托盘的上托杆;可拆卸地与所述上托杆底部连接的下托杆;其中,所述下托杆由碳/碳复合材料制成。上述坩埚托杆的强度高,不易损坏,而且外露于炉腔的部分导热率系数低,解决了单晶炉内热量流失较多的问题。本发明还公开了一种包括上述坩埚托杆的单晶炉。 | ||
搜索关键词: | 坩埚托杆 单晶炉 上托杆 下托杆 碳/碳复合材料 底部连接 热量流失 支撑连接 坩埚托盘 外露 导热率 可拆卸 炉腔 | ||
【主权项】:
1.一种坩埚托杆,其特征在于,包括:用以支撑连接坩埚托盘的上托杆(1);可拆卸地与所述上托杆(1)底部连接的下托杆(2);其中,所述下托杆(2)由碳/碳复合材料制成。
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