[发明专利]一种模具耐高温PVD涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201910667860.3 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110408895B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 罗布湾 | 申请（专利权）人： | 慈溪市宜美佳铝业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/10;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 高振红 |
| 地址： | 315000 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种模具耐高温PVD涂层及其制备方法，该PVD涂层由底层、中间多层和保护层组成；所述底层含AlCrN，所述中间多层含SiO2和TiN，所述保护层含CrN。所述制备方法包括以下步骤：步骤(1)：对模具表面进行净化处理；步骤(2)：运用弧电源轰击法在模具表面打底层AlCrN；步骤(3)：运用气相沉积法用SiO2和TiN在底层上进行中间多层过渡；步骤(4)：用高频率大能量电源在中间多层上打上保护层CrN，即得。铝合金模具经过此工艺处理后，可以在免做水镀处理、膜层厚度大大降低的情况下，仍能满足膜层的防腐蚀、耐高温等性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模具 耐高温 pvd 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种模具耐高温PVD涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)对模具表面进行净化处理；(2)采用弧电源轰击法在模具表面制备底层AlCrN；(3)采用气相沉积法用SiO2和TiN在底层上进行中间多层过渡；(4)采用高频率大能量电源在中间多层上打上保护层CrN，即得。
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