[发明专利]投影物镜波像差检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201910664574.1 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110441992B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 唐锋;彭常哲;王向朝;卢云君;李鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种投影物镜波像差检测装置及检测方法，该投影物镜波像差检测装置包括光源及照明系统、物面光栅、物面位移台、被测投影物镜、像面光栅、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元。本发明通过控制物面光栅线条的长度，或物面光栅垂直于剪切衍射方向的周期结构，或物面光栅采用正弦光栅，或像面光栅采用振幅相位混合光栅，降低了干涉场的复杂性，提高了波像差检测速度和精度，能提高原位波像差检测的精度和速度。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 波像差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910664574.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
