[发明专利]一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置及检测方法在审
| 申请号： | 201910659701.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110360965A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 胡耀华;王经;李纪欣;张炜;李志彬;张九天;白帆;徐衍胜;安彬 | 申请（专利权）人： | 太原鹏跃电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/22 | 分类号： | G01B13/22;G01M3/28 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030032 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于平面度检测技术领域，具体涉及一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置及检测方法，包括气动量仪、内平面测试头、外平面测试头以及设有工作台的机架，所述气动量仪固定在机架上，所述内平面测试头和外平面测试头通过三通阀与气动量仪联通；内平面测试头和外平面测试头均设置在工作台上，内平面测试头外设有第一防护罩，外平面测试头外设有第二防护罩。通过上述结构可以有效减少占地设备的占地面积，并降低了设备成本。同时，在内平面测试头和外平面测试头外分别设有相应的防护罩，可以有效起到防护和防尘作用。 | ||
| 搜索关键词： | 测试头 气动量仪 外平面 防护罩 检测 平面度 气密性 平面度检测 设备成本 有效减少 防尘 工作台 三通阀 联通 防护 | ||
【主权项】：
1.一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置，其特征在于：包括气动量仪（1）、内平面测试头（2）、外平面测试头（3）以及设有工作台（5）的机架（4），所述气动量仪（1）固定在机架（4）上，所述内平面测试头（2）和外平面测试头（3）通过三通阀（6）与气动量仪（1）联通；内平面测试头（2）和外平面测试头（3）均设置在工作台（5）上，内平面测试头（2）外设有第一防护罩（7），外平面测试头（3）外设有第二防护罩（8）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太原鹏跃电子科技有限公司，未经太原鹏跃电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910659701.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
