[发明专利]一种复合式双同轴线大气压低温微波等离子体射流源有效
| 申请号： | 201910658894.6 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110267425B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 傅文杰;张朝阳;聂聪;黎晓云;鄢扬 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 郭艳艳 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合式双同轴线大气压低温微波等离子体射流源，包括外部同轴线和内部同轴线，内部同轴线设置在外部同轴线内部，外部同轴线包括管体，管体内设置有金属管，金属管底部设置有短路活塞，内部同轴线包括针状电极，针状电极设置在金属管内，管体上设置有气体输入口一，气体输入口一与管体和金属管间连通，金属管底部设置有气体输入口二，气体输入口二与金属管和针状电极间连通，管体上还设置有微波输入口，微波输入口与金属管相连。本发明实现大气微波等离子体射流源发射稳定、长度宽度可控的低温等离子体射流，改善了现有技术中温度过高、激发功率大、尺寸大、等离子体射流不稳定、不易调节和不可手持操作等缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 同轴线 大气压 低温 微波 等离子体 射流 | ||
【主权项】：
1.一种复合式双同轴线大气压低温微波等离子体射流源，其特征在于，包括外部同轴线和内部同轴线，所述内部同轴线设置在所述外部同轴线内部，且顶部平齐，所述外部同轴线包括管体(1)，所述管体(1)内设置有金属管(7)，所述金属管(7)底部活动设置有一短路活塞(3)，所述内部同轴线包括针状电极(5)，所述针状电极(5)设置在所述金属管(7)内，且顶部伸出所述金属管(7)外，所述管体(1)上设置有气体输入口一(6)，所述气体输入口一(6)与所述管体(1)和所述金属管(7)间连通，所述金属管(7)底部设置有气体输入口二(8)，所述气体输入口二(8)与所述金属管(7)和所述针状电极(5)间连通，所述管体(1)上还设置有微波输入口(2)，所述微波输入口(2)与所述金属管(7)相连。
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