[发明专利]一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺在审
| 申请号： | 201910651653.9 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110302630A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 赵霖;乐昀;于洋;金万宇;刘智超;郑晨达;郭奎宇;邱浩明;王鹏;邱长春 | 申请（专利权）人： | 大连中鼎化学有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D46/00 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 胡景波 |
| 地址： | 116039 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本发明工艺深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷杂质或其中某种或多种杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯气体 纯化气体 纯化装置 监测组 制备 再生气体入口 废气排放口 原料气入口 阀门仪表 气体纯化 微量杂质 出气 氢气 一氧化碳 再生气 甲烷 排液 脱除 外接 吸附 二氧化碳 | ||
【主权项】：
1.一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口(26)；所述原料气入口监测组与吸附组入口连接，吸附组出口分别连接产品再生气阀门仪表组、产品出气组；所述外接再生气体入口监测组分别连接排液组、废气排放口(26)；产品再生气阀门仪表组与外接再生气体入口监测组的管路相连接；所述的吸附组中脱氧吸附器入口阀与脱氧吸附器顶部入口连接，脱氧吸附器底部与产品气出脱氧吸附器出口阀连接。再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀并列，再生加热器与脱氧吸附器底部连接，再生冷却器与脱氧吸附器连接，连接管路上设有脱氧吸附器压力测量仪表、再生废气出脱氧吸附器出口阀；再生加热器处设有再生气进入脱氧吸附器入口阀；所述吸附组在纯化装置中并联设置两组以上。
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