[发明专利]谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法在审
| 申请号： | 201910649890.1 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110234195A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;张仲恺;雷久侯;曹金祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法，本发明技术方案在真空谐振腔内设置以天线密封罩，将辐射微波的天线置于该天线密封罩内，可以避免放电天线对所述真空谐振腔内ECR等离子体污染。可以通过所述ECR控制元件调节电子回旋共振所需磁场大小，进一步增加电子密度。本发明技术方案所述装置具有结构简单、电磁波‑等离子体能量耦合效率高的优点，可以产生电子密度高达1012cm‑3量级的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 天线 密封罩 源装置 等离子体 等离子体能量 电子回旋共振 放电天线 控制元件 耦合效率 电磁波 磁场 微波 辐射 污染 | ||
【主权项】：
1.一种谐振腔式ECR等离子体源装置，其特征在于，包括：真空谐振腔，用于使得设定频率的微波产生谐振；置于所述真空谐振腔内的天线密封罩，所述天线密封罩具有连接外部大气的天线开口；通过所述开天线口置于所述天线密封罩中的天线，所述天线用于通过所述密封天线罩向所述真空谐振腔辐射所述微波；置于所述真空谐振腔外部的ECR控制元件，用于在所述真空谐振腔内产生电子回旋共振所需磁场，以在所述真空谐振腔内产生ECR等离子体。
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