[发明专利]树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法有效
| 申请号： | 201910644826.4 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110789042B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 后藤智行;花崎昌则;谷口翔一;岩田康弘;花坂周邦 | 申请（专利权）人： | 东和株式会社 |
| 主分类号： | B29C43/18 | 分类号： | B29C43/18;B29C43/34;B29C43/36;B29C43/58;B29C43/32;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市南区上鸟羽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法，着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形，所述树脂成形装置包括：第一模(2)，保持成形对象物(W1)的第一面(Wa)，具有与第一面(Wa)之间形成空间的凹部(2M)；第二模(3)，与第一模(2)相向地设置，具有容纳树脂材料(J)的模腔(3C)；气体供给部(6)，向凹部(2M)内供给气体；变形测量部(8)，测量与成形对象物(W1)的变形相关的信息；以及控制部(9)，基于变形测量部(8)的测量结果，控制由气体供给部(6)供给的气体量。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 成形 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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