[发明专利]一种低噪声的SOA-PIN集成光探测器有效
| 申请号： | 201910638464.8 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110336184B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李洵;董智星;周玉兰;王衡;赵佳;杜刘革;王作佳;黄卫平 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01S5/34 | 分类号： | H01S5/34;H01S5/12;H01S5/06;H01S5/042;H04B10/69 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266200 山东省青岛市即*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低噪声的SOA‑PIN集成光探测器，沿信号光传播方向依次包括：SOA部分、PIN部分和全反射镜，所述SOA部分和PIN部分底部共用同一底部电极，顶部为独立设置的SOA顶部电极和PIN顶部电极，全反射镜位于PIN部分的的外侧，所述SOA部分包括光栅空间滤波结构层，其方向为沿着信号光的传播方向，本发明所公开的低噪声的SOA‑PIN集成光探测器体积小、成本较低、适合大规模生产，具有很好的滤除噪声、提高信噪比的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 soa pin 集成 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种低噪声的SOA‑PIN集成光探测器，其特征在于，沿信号光传播方向依次包括：SOA部分、PIN部分和全反射镜，所述SOA部分和PIN部分底部共用同一底部电极，顶部为独立设置的SOA顶部电极和PIN顶部电极，全反射镜位于PIN部分的的外侧，所述SOA部分包括光栅空间滤波结构层，其方向为沿着信号光的传播方向。
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