[发明专利]应力分量的解耦检测方法与装置在审
| 申请号： | 201910628603.9 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110333219A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 仇巍;李如冰;亢一澜;曲传咏;张茜 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/47;G01L5/16;G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨奇松 |
| 地址： | 300000*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种应力分量的解耦检测方法与装置，该方法包括：获取在不同检测条件下对待检测对象的目标晶面进行检测得到的拉曼频移增量的实测值；获取待检测对象的当前应力分量，并通过拟合算式对当前应力分量和拉曼频移增量的实测值所对应的检测条件进行计算，得到当前拉曼频移增量的拟合值；若当前拉曼频移增量的拟合值与拉曼频移增量的实测值之间的残差平方和达到预设容差值时，则将当前应力分量作为待检测对象的目标晶面的应力分量的解耦结果。在本发明中，能够对待检测对象的目标晶面的应力分量进行解耦分析，最终得到的应力分量的解耦结果准确性好，缓解了现有的应力状态的检测方法无法实现复杂应力状态应力分量解耦分析的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 应力分量 拉曼频移 解耦 实测 待检测对象 检测对象 检测条件 解耦检测 拟合 复杂应力状态 残差平方和 结果准确性 应力状态 检测 晶面 预设 分析 缓解 | ||
【主权项】：
1.一种应力分量的解耦检测方法，其特征在于，包括：获取在不同检测条件下通过显微拉曼测量系统对待检测对象的目标晶面的目标点进行检测得到的拉曼频移增量的实测值，其中，所述显微拉曼测量系统包括：偏振显微拉曼测量系统和四自由度样品台，检测时，按照所述待检测对象的目标晶面与所述四自由度样品台的角位移平面平行的原则将所述待检测对象置于所述四自由度样品台上；获取所述待检测对象的当前应力分量，并通过拟合算式对所述当前应力分量和所述拉曼频移增量的实测值所对应的检测条件进行计算，得到当前拉曼频移增量的拟合值，其中，所述当前应力分量为初始应力分量或者基于上一应力分量确定的应力分量，所述初始应力分量为赋值得到的应力分量；若所述当前拉曼频移增量的拟合值与所述拉曼频移增量的实测值之间的残差平方和达到预设容差值时，则将所述当前应力分量作为所述待检测对象的目标晶面的应力分量的解耦结果。
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