[发明专利]一种基于AFM加工的表面增强拉曼基底的制备方法在审

专利信息
申请号: 201910625403.8 申请日: 2019-07-11
公开(公告)号: CN110316697A 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 耿延泉;王继强;闫永达 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;B82Y40/00;G01N21/65
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 代理人: 高媛
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种基于AFM加工的表面增强拉曼基底的制备方法,属于拉曼基底制备技术领域。所述方法如下:聚碳酸酯表面纳米点阵结构加工:使用AFM在聚碳酸酯表面进行扫描加工纳米点阵结构;所述聚碳酸酯的厚度为1mm;结构转印:利用PDMS对加工得到的聚碳酸酯表面纳米点阵结构进行转印;结构镀金:在转印后的PDMS表面通过电子束镀膜设备进行镀膜,通过控制镀膜时间和束流大小将镀膜厚度控制在10~30nm。本发明的优点为:表明增强拉曼基底制备流程简单、快速高效,制备的基底结构稳定、一致性好,通过设置AFM扫描加工时所施加的法向载荷可以改变基底的结构尺寸,并且应用PDMS可大量复制基底结构。
搜索关键词: 聚碳酸酯表面 纳米点阵 镀膜 基底 转印 制备 表面增强拉曼 基底结构 基底制备 扫描加工 加工 电子束镀膜 厚度控制 结构加工 聚碳酸酯 一致性好 法向 束流 镀金 复制 施加 应用
【主权项】:
1.一种基于AFM加工的表面增强拉曼基底的制备方法,其特征在于:所述方法具体步骤如下:步骤一:聚碳酸酯表面纳米点阵结构加工:使用AFM在聚碳酸酯薄板表面进行扫描加工纳米点阵结构;所述聚碳酸酯薄板的厚度为1mm;步骤二:结构转印:利用PDMS对步骤一加工得到的聚碳酸酯薄板表面纳米点阵结构进行转印;步骤三:结构镀金:在步骤二转印后的PDMS表面通过电子束镀膜设备进行镀膜,通过控制镀膜时间和束流大小将镀膜厚度控制在10~30nm。
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