[发明专利]一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置

摘要

本发明公开了一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置，包括主机体，所述主机体内开设有工作腔，所述工作腔内设有夹紧柱，所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构，所述夹紧柱的下侧固设有支撑块，所述工作腔的底壁上滑动设有滑板，所述支撑块固设在所述滑板上，本发明可使单晶棒料的切割工序和水洗脱胶工序集成在一起，让单晶棒料的加工变得更加简单，且其能够节省很多不必要的人工劳动力，其中，夹紧机构能够在棒料切割的时候夹紧更加稳定，移动机构能够在棒料一次切割完成后，自动往切割点送料，使切割工序更加的高效。

主权项

1.一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置，包括主机体，其特征在于：所述主机体内开设有工作腔，所述工作腔内设有夹紧柱，所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构，所述夹紧柱的下侧固设有支撑块，所述工作腔的底壁上滑动设有滑板，所述支撑块固设在所述滑板上，所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽，所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构，所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套；所述工作腔内设有支撑架和动力箱，所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆，两组所述滑杆左右对称，所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接，所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧，所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构，所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构，所述动力箱内开设有动力腔，所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构，所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔，所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片，并进行水洗脱胶的清洗机构。