[发明专利]一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用有效
| 申请号： | 201910596122.4 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110333191B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 连洁;宋浩男;石玉君;戴凯;姜清芬;魏铭洋 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01N21/25;G01B11/06 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 张慧芳 |
| 地址： | 266200 山东省青岛市即*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用，所述光谱磁光椭偏分析装置包括光源模块、光路模块、磁场模块、样品台、电机控制模块、探测及分析模块，所述光路模块包括准直镜、起偏器、补偿器、检偏器，所述探测及分析模块包括计算机和探测器，所述准直镜、起偏器、补偿器、样品台、检偏器和探测器沿光路方向依次设置，起偏器、补偿器位于入射光路，检偏器位于出射光路，所述入射光路和出射光路位于所述样品台的两侧，且与样品台法线的夹角均为φ。本发明可以在纵向或极向磁光克尔效应下对磁性薄膜材料的光学和磁学参数进行表征，在一次测试中可以得到磁性薄膜样品的厚度、光学参数、磁学参数，自动化程度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 补偿 光谱 磁光椭偏 分析 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置，包括光源模块、光路模块、磁场模块、样品台、电机控制模块、探测及分析模块，其特征在于，所述光路模块包括准直镜、起偏器、补偿器、检偏器，所述探测及分析模块包括计算机和探测器，所述准直镜、起偏器、补偿器、样品台、检偏器和探测器沿光路方向依次设置，起偏器、补偿器位于入射光路，检偏器位于出射光路，所述入射光路和出射光路位于所述样品台的两侧，且与样品台法线的夹角均为φ。
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