[发明专利]一种TiBx有效

专利信息
申请号: 201910587427.9 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN110438461B 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 荣铭聪 申请(专利权)人: 广州大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;宋静娜
地址: 510006 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种TiBx/Cr(x=1.9~3.5)抗氧化多层涂层的制备方法。本发明TiBx/Cr抗氧化多层涂层的制备方法通过先在硬质合金基体表面沉积Cr过渡层,再交替沉积TiBx插入层与Cr插入层以得到TiBx/Cr抗氧化多层涂层,其中Cr过渡层和Cr插入层通过直流磁控溅射或高功率脉冲磁控溅射沉积而成,x=1.9~3.5,制得的TiBx/Cr抗氧化多层涂层因引入Cr充当扩散阻挡层,抑制B了的快速外扩散行为;又因引入纯金属Cr插入层提升了涂层的韧性及抵抗裂纹扩展的能力,使得TiBx/Cr多层涂层及其氧化层在高温环境下可以减少裂纹数量甚至避免开裂,这些因素共同提升了TiBx/Cr多层涂层的高温抗氧化能力。
搜索关键词: 一种 tib base sub
【主权项】:
1.一种TiBx/Cr抗氧化多层涂层的制备方法,其特征在于:所述制备方法包括以下步骤:(i)先在硬质合金基体表面沉积Cr过渡层;(ii)再交替沉积TiBx插入层与Cr插入层,得到所述TiBx/Cr抗氧化多层涂层;其中,Cr过渡层和Cr插入层通过直流磁控溅射或高功率脉冲磁控溅射沉积而成,x=1.9~3.5。
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