[发明专利]等离子束发生装置及产生等离子束的方法有效
| 申请号： | 201910584763.8 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN112188716B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 曾宪俊 | 申请（专利权）人： | 上海宏澎能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 马景辉 |
| 地址： | 201900 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开涉及等离子束发生装置及产生等离子束的方法。一种等离子束发生装置，包括：第一气体源，用于提供第一气体；第二气体源，用于提供第二气体；以及等离子体发生器，用于将包含第一气体和第二气体的混合气体电离，形成等离子束，其中，所述等离子束发生Z轴箍缩，所述第一气体包含氢气，所述第二气体包含以下气体中的至少一种：惰性气体和氮气。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 发生 装置 产生 方法 | ||
【主权项】：
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