[发明专利]适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法

摘要

本发明涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法，属于电子工业洁净室领域。包括无级调速直流无刷新风机组、集中控制器、电动调节阀、风压传感器、无级调速直流无刷支路风机、压差传感器、压差控制器。从调试阶段分为工作模式和值班模式，两种模式初始设置均为各自的调试状态。洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点。本发明具有较高的控制精度和节能性，控制逻辑清晰，工程适应性强。

主权项

1.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。