[发明专利]压印设备和制造物件的方法在审
| 申请号： | 201910570726.1 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110262187A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 中野一志 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 罗闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印设备和制造物件的方法。所述压印设备用于执行利用模具在基底上模制压印材料以在基底上形成图案的压印处理，所述设备包括：供给装置，其配置成将渗透气体和可凝缩气体供给到在基底上的压印材料与模具之间的空间，所述渗透气体穿透模具、压印材料以及基底中的至少之一，并且所述可凝缩气体通过由于模制导致的压力上升而被液化；以及控制器，其配置成控制供给装置，以便基于与用于压印处理的配方相关的信息改变渗透气体的供给量和可凝缩气体的供给量中的至少之一。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 凝缩气体 渗透气体 压印设备 模具 供给量 压印材料 制造物件 压印 供给装置 控制供给 压力上升 控制器 模制 配置 上模 液化 穿透 配方 图案 | ||
【主权项】：
1.一种压印方法，通过对基底上的压印材料执行模具按压而在基底上形成图案，所述方法包括：将通过模具按压液化的可凝缩气体供给到在基底与用于模具按压的模具之间的空间，并且执行模具按压；以及基于要形成的图案的特征的类型控制在所述空间中可凝缩气体的浓度。
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