[发明专利]一种布拉格光栅外腔激光器模块合束装置及合束方法有效
申请号: | 201910569713.2 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110323672B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 俞浩;孙舒娟;王俊;潘华东;闵大勇 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/065 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 郑越 |
地址: | 215163 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种布拉格光栅外腔激光器模块合束装置及合束方法。其中,合束装置包括多个并排设置的发光模块,采用布拉格光栅进行波长锁定;输出光经聚焦光学元件后入射至合束元件进行合束,合束光经分光元件作用后一部分反射,一部分透射,一部分以色散元件的衍射角入射到色散元件上,并在变换光学元件作用下形成平行光;最后在图像采集机构上形成与发光模块对应波长的光束的图块;通过图像采集机构上的发光模块形成的图块与预设图块之间是否存在偏差来判断该对应的发光模块的波长是否锁定,有效解决现有的多发光模块的合束装置无法进行锁定波长的判断和检测造成的合束装置光束质量较低的问题,合束装置结构简单,判断检测快速,调整方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 布拉格 光栅 激光器 模块 束装 方法 | ||
【主权项】:
1.一种布拉格光栅外腔激光器模块合束装置,包括至少两个间隔且并排布置的发光模块(1),任一所述发光模块(1)包括激光单元(11),及用于接收所述激光单元(11)发射出的激光的布拉格光栅(16);其中,一个所述发光模块(1)作为基准发光模块(100);设在所有所述发光模块(1)的输出光路上的聚焦光学元件(2);设在所述聚焦光学元件(2)的输出光路的聚焦位置处的合束元件(3);其特征在于,还包括分光元件(4),设在所述合束元件(3)的输出光路上;色散元件(5),设在所述分光元件(4)的任一输出光路上,用于将合束光分散为与所述聚焦光学元件(2)和所述合束元件(3)之间的各个波长的激光相对位置关系一致的分散光;变换光学元件(6),设在所述色散元件(5)的输出光路上,用于将所述分散光透射为平行光;图像采集机构(7),设在所述变换光学元件(6)的输出光路上,用于采集所述变换光学元件(6)的输出光路上的平行光照射的图块。
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