[发明专利]一种适用于磁控溅射仪的自动升降靶材平台

摘要

本发明公开了一种适用于磁控溅射仪的自动升降靶材平台，包括冷却水箱平台及设置在冷却水箱平台下方的自动升降装置，所述冷却水箱平台包括冷却水箱、设置在冷却水箱上方的靶材架及设置在靶材架上设有靶材；所述自动升降装置包括直线电机、直线电机输出轴、第一铰接座、第二铰接座、第一销轴、第二销轴、第二连杆、第三连杆、第一滚轮及第一滑槽，所述第一滑槽及第二铰接座分别设置在冷却水箱底部两侧靠近端部位置处，所述第一滚轮配合设置在第一滑槽内，且第一滚轮能够在第一滑槽内滑动；本发明的有益效果是：该自动升降靶材平台设计巧妙，结构合理，自动化程度高，且使用方便，能够自动升降靶材所在的试验平台，调节镀膜的间距。

主权项

1.一种适用于磁控溅射仪的自动升降靶材平台，其特征在于，包括冷却水箱平台及设置在冷却水箱平台下方的自动升降装置，所述冷却水箱平台包括冷却水箱（5）、设置在冷却水箱（5）上方的靶材架及设置在靶材架上设有靶材；所述自动升降装置包括直线电机（25）、直线电机输出轴（27）、第一铰接座（1）、第二铰接座（3）、第一销轴（28）、第二销轴（30）、第二连杆（29）、第三连杆（31）、第一滚轮（24）及第一滑槽（23），所述第一滑槽（23）及第二铰接座（3）分别设置在冷却水箱（5）底部两侧靠近端部位置处，所述第一滚轮（24）配合设置在第一滑槽（23）内，且第一滚轮（24）能够在第一滑槽（23）内滑动；所述第三连杆（31）的一端与第一滚轮（24）活动连接，另一端与第一铰接座（1）相连，所述第二连杆（29）一端与第二铰接座（3）相连，另一端通过第一销轴（28）与直线电机输出轴（27）活动连接，所述第二连杆（29）与第三连杆（31）中部通过第二销轴（30）活动连接。