[发明专利]一种同心度的检测方法及检测装置在审
| 申请号： | 201910564931.7 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110160430A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 耿耀庭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/252 | 分类号： | G01B5/252 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种同心度的检测方法及检测装置，同心度的检测方法包括以下步骤：提供一种被检测组件，所述被检测组件包括第一套筒和第二套筒，所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙；提供一种检测装置，所述检测装置包括检测件，将所述检测件插入所述间隙中；判断所述检测件是否到达预定深度位置，若是，则所述第二套筒与所述第一套筒符合同心度要求，若否，则所述第二套筒与所述第一套筒不符合同心度要求。该方法的步骤简洁，操作方便，同时还能够比较精确的检测出所述第二套筒与第一套筒是否符合同心度的要求，避免了不符合同心度要求的所述第二套筒与所述第一套筒投入使用时带来的不利后果。 | ||
| 搜索关键词： | 套筒 检测 同心度 同心度要求 检测装置 检测组件 预定深度位置 种检测 外周 申请 | ||
【主权项】：
1.一种同心度的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：提供被检测组件和检测装置，所述被检测组件包括第一套筒和第二套筒，所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙，所述检测装置包括检测件，所述检测件的厚度大于所述间隙的宽度的一半，并小于所述间隙的宽度；将所述检测件插入所述间隙中；判断所述检测件是否到达预定深度位置，若是，则所述第二套筒与所述第一套筒符合同心度要求，若否，则所述第二套筒与所述第一套筒不符合同心度要求。
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