[发明专利]一种采用二维材料异质结构检测压力大小及位置的电子皮肤设计有效
| 申请号： | 201910553537.3 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112129434B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 毛旭瑞;张琪;胡海洋;张旭;陈弘达 | 申请（专利权）人： | 海宁先进半导体与智能技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用二维材料异质结构检测压力大小及位置的电子皮肤设计，本发明利用压力或拉伸力改变介质层厚度进而影响到层间电容和量子电容的特性，利用电容的变化改变谐振频率，进而表征传感器收到的拉伸力和压力的大小。这种通过调整谐振频率的方法可以高灵敏度的检测压力，并避免传感器阵列之间的串扰。此外，因为传感器是垂直异质结构，所以便于传感器阵列采用交叉结构读出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 二维 材料 结构 检测 压力 大小 位置 电子 皮肤 设计 | ||
【主权项】：
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