[发明专利]加热装置及喷雾式涂胶机有效
| 申请号： | 201910544140.8 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110201851B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 贾月明;吕磊;吴卿;刘玉倩;郑如意;李嘉保 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C9/14;B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 倪静 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热装置及喷雾式涂胶机，涉及涂胶设备技术领域，为解决现有晶片加热装置中热烘不均匀的技术问题。该加热装置包括热盘和吸盘，热盘与吸盘相对设置；热盘划分为多个加热区，各加热区对应设置有加热元件，多个加热区对应一个传热面，吸盘具有受热面，传热面与受热面相对设置，且两面之间采用面接触。该喷雾式涂胶机包括机架、加热装置和驱动加热装置转动的驱动机构。该加热装置及喷雾式涂胶机能够提供高均匀性的热场。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 喷雾 涂胶 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，用于涂胶机，其特征在于，包括：热盘(120)和吸盘(130)，所述热盘(120)与所述吸盘(130)相对设置；所述热盘(120)划分为多个加热区，各所述加热区对应设置有加热元件，多个所述加热区对应一个传热面，所述吸盘(130)具有受热面，所述传热面与所述受热面相对设置，且两面之间采用面接触。
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