[发明专利]光罩和显示面板在审

专利信息
申请号: 201910542496.8 申请日: 2019-06-21
公开(公告)号: CN112114494A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 王平;谢邦星;许建勇 申请(专利权)人: 南昌欧菲触控科技有限公司
主分类号: G03F1/76 分类号: G03F1/76;G03F1/68;G03F7/20
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 330096 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 本申请涉及显示领域,一种用于图案化涂布负性光阻剂基板的光罩。所述光罩包括图案区和光洁区,所述图案区靠近所述光洁区一侧设有走线区,对应到所述基板的绑定区。所述走线区内设多根并排的走线,对应到所述基板的金属线。所述光罩上每一根所述走线与所述光洁区之间均为间隙设置,且所述走线与所述光洁区之间还连接有导通段,用于平衡所述第一端与所述光洁区之间的电势。所述导通段还通过宽度设定来保证光罩在照射过程中,其对应所述基板下方的材料经过光线衍射而被照射,后续刻蚀过程中材料得以保留。本申请光罩克服了走线区内走线的ESD损害,由本申请光罩制作的基板也可以克服绑定区内金属线的ESD损害。
搜索关键词: 显示 面板
【主权项】:
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