[发明专利]特定环境使用的快冷式加热器在审

专利信息
申请号: 201910534143.3 申请日: 2019-06-19
公开(公告)号: CN112118643A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 魏旭东
主分类号: H05B3/02 分类号: H05B3/02;H05B3/04;H05B3/10;H05B3/40
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201109 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 特定环境使用的快冷式加热器所属领域为半导体/航天/海洋/医药/精密材料领域。解决技术问题为真空和特殊气体环境中加热器安全和延长使用寿命。主要技术特征为隔绝加热器中的加热部件和使用环境的接触。用途:本发明装置就是根本性解决半导体/航天/海洋/医药/精密特定工艺环境的稳定安全持久加热的结构。本结构不仅能通过快工艺中反复加热降温而带来的使用寿命问题;而且解决了真空和下的安全问题,使得加热器稳定控制和安全长久使用成为可能。
搜索关键词: 特定 环境 使用 快冷式 加热器
【主权项】:
暂无信息
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