[发明专利]特定环境使用的快冷式加热器在审
申请号: | 201910534143.3 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN112118643A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 魏旭东 |
主分类号: | H05B3/02 | 分类号: | H05B3/02;H05B3/04;H05B3/10;H05B3/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201109 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 特定环境使用的快冷式加热器所属领域为半导体/航天/海洋/医药/精密材料领域。解决技术问题为真空和特殊气体环境中加热器安全和延长使用寿命。主要技术特征为隔绝加热器中的加热部件和使用环境的接触。用途:本发明装置就是根本性解决半导体/航天/海洋/医药/精密特定工艺环境的稳定安全持久加热的结构。本结构不仅能通过快工艺中反复加热降温而带来的使用寿命问题;而且解决了真空和下的安全问题,使得加热器稳定控制和安全长久使用成为可能。 | ||
搜索关键词: | 特定 环境 使用 快冷式 加热器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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