[发明专利]基于光子晶体激光阵列的微推进器光源有效
申请号: | 201910524087.5 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN110086081B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 郑婉华;渠红伟;陈忠浩;齐爱谊;刘靖;张玉芳;周旭彦;贾宇飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022;H01S5/40 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于光子晶体激光阵列的微推进器光源,包括:管壳,为一台阶结构,该台阶结构包含底部和顶部;过渡热沉,制作于管壳的台阶结构的底部上;光子晶体激光阵列,倒装于过渡热沉上并与管壳固定,该光子晶体激光阵列包含多个电学隔离的激光单元,每个激光单元结构包含:半导体激光器,以及在该半导体激光器的外延结构方向引入的周期或准周期光子晶体结构;电路板,具有多路隔离的电路,固定于管壳的台阶结构的顶部上,各路电路分别与光子晶体激光阵列的各个激光单元电性连接,用于为各个激光单元单独供电。与现有技术相比,降低垂直发散角,提高了激光功率密度,提高了微推进器比冲,降低烧蚀脉冲宽度,简化高亮度微光光路设计,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 基于 光子 晶体 激光 阵列 推进器 光源 | ||
【主权项】:
1.一种基于光子晶体激光阵列的微推进器光源,其特征在于,包括:管壳,为一台阶结构,该台阶结构包含底部和顶部;过渡热沉,制作于管壳的台阶结构的底部上;光子晶体激光阵列,倒装于过渡热沉上并与管壳固定,该光子晶体激光阵列包含多个电学隔离的激光单元,每个激光单元结构包含:半导体激光器,以及在该半导体激光器的外延结构方向引入的周期或准周期光子晶体结构;电路板,具有多路隔离的电路,固定于管壳的台阶结构的顶部上,各路电路分别与光子晶体激光阵列的各个激光单元电性连接,用于为各个激光单元单独供电。
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