[发明专利]一种曲面光刻机有效
| 申请号： | 201910522206.3 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110244524B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 谢修安;谢景昱 | 申请（专利权）人： | 绍兴宝树印染科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) 33274 | 代理人： | 韩云涵 |
| 地址： | 312080 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曲面光刻机，包括机架、X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板、光刻镜头、连接机构；所述X向运动模组安装于机架内，所述Y向运动模组位于于X向运动模组上方，所述X向运动模组通过连接机构驱动Y向运动模组沿Z向编码板上表面的路径向前移动，所述光刻镜头安装于Y向运动模组上且由Y向运动模组驱动沿Y轴移动。本发明中X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板配合作用，使光刻镜头以曲面工件上表面的形状为路径前进，从而完成对曲面工件上表面的逐行扫描光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲面 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种智能集成式线控换档系统，其特征在于：包括机架、X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板、光刻镜头、连接机构；所述X向运动模组安装于机架内，所述Y向运动模组位于于X向运动模组上方，所述X向运动模组通过连接机构驱动Y向运动模组沿Z向编码板上表面的路径向前移动，所述光刻镜头安装于Y向运动模组上且由Y向运动模组驱动沿Y轴移动。
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