[发明专利]由积层制造工艺所生产的研磨垫有效
| 申请号： | 201910516558.8 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN110142687B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | R·巴贾杰;D·莱德菲尔德;M·C·奥里拉利;B·福;A·J·康纳;J·G·方;M·科尔内霍;A·乔卡里汉;M·F·雅玛木拉;R·卡基雷迪;A·库马;V·哈里哈兰;G·E·蒙柯;F·C·雷德克;N·B·帕蒂班德拉;H·T·恩古;R·达文波特;A·辛哈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24;B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 工艺 生产 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成研磨物件的至少一部分的聚合物前体组成物，包括：多官能性丙烯酸酯寡聚物；丙烯酸酯单体；以及光引发剂，所述光引发剂选自由安息香醚、苯甲基缩酮、乙酰苯酮、烷基苯酮、氧化膦、二苯甲酮化合物、以及噻吨酮化合物组成的群组，其中所述聚合物前体组成物具有一黏度，所述黏度使所述聚合物前体能够使用积层制造工艺而施配以形成所述研磨物件的一部分。
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