[发明专利]膜片型光纤法珀腔传感器制备装置、传感器制备方法以及膜片型光纤法珀腔传感器在审
| 申请号： | 201910515997.7 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110243533A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 喻乐;王爱清;张树宁;郭书辰 | 申请（专利权）人： | 北京知觉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100085 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种膜片型光纤法珀腔传感器制备装置、传感器制备方法以及膜片型光纤法珀腔传感器，所述系统包括腐蚀部件、可升降夹具、控制部件、压力舱、加压部件、压力测量部件和腔长测量部件；所述腐蚀部件内盛装腐蚀液，用于减薄膜片型光纤法珀腔传感器预制体的膜片厚度；所述可升降夹具用于固定所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体；所述控制部件用于控制所述可升降夹具的升降，所述压力舱为密闭空间，所述腐蚀部件和所述可升降夹具均置于所述压力舱内，所述加压部件与所述压力舱连接，所述压力测量部件用于测量所述压力舱内的气压大小；所述腔长测量部件用于测量所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体的实时腔长。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤法珀 膜片 压力舱 传感器 夹具 传感器制备 可升降 腐蚀部件 预制体 腔长 压力测量部件 测量部件 加压部件 控制部件 测量 密闭空间 薄膜片 腐蚀液 气压 升降 盛装 | ||
【主权项】：
1.一种膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，包括腐蚀部件、可升降夹具、控制部件、压力舱、加压部件、压力测量部件和腔长测量部件；所述腐蚀部件内盛装腐蚀液，用于减薄膜片型光纤法珀腔传感器预制体的膜片厚度；所述可升降夹具用于固定所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体；所述控制部件用于控制所述可升降夹具的升降，使所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体能够浸入所述腐蚀部件的所述腐蚀液中以及从所述腐蚀液中提升出；所述压力舱为密闭空间，所述腐蚀部件和所述可升降夹具均置于所述压力舱内，所述加压部件与所述压力舱连接，用于向所述压力舱内通气或从所述压力舱内抽气，以改变所述压力舱内的气压；所述压力测量部件用于测量所述压力舱内的气压大小；所述腔长测量部件用于测量所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体的实时腔长。
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