[发明专利]涡旋式真空泵

摘要

本发明提供一种采用不产生压缩热的膨胀式、并且具有能够进行有效率的吸引/喷出的构造的涡旋式真空泵。有关本发明的涡旋式真空泵（1）具备：壳体（5），在其内部划分形成动作空间（3）；一对驱动涡旋部件（13、16），配设在前述动作空间（3）内；以及从动涡旋部件（17，）配设在该一对驱动涡旋部件（13、16）之间；由立设在从动涡旋部件（17）的两侧的从动涡旋件卷板（19、20）、以及与各个从动涡旋件卷板（19、20）啮合的各个驱动涡旋部件（13、16）的驱动涡旋件卷板（12、15），划分形成移动空间（21、22）；该移动空间（21、22）从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板（12a）的规定范围中使其容积减少。