[发明专利]一种基于声光调制的扫描激光测振仪

摘要

本发明公开的一种基于声光调制的扫描激光测振仪，属于非接触动态测量领域。本发明主要由激光器、分光棱镜、声光调制器、光阑、被测振动表面、参考反射镜、光电接收器组成。激光器出射光被分光棱镜分为参考光和测量光；测量光经声光调制器衍射、光阑选择后得到一级衍射光，照射到具有漫反射特性的被测振动表面，部分反射光原路返回后再次被声光调制器衍射，衍射后得到的一级衍射光与原测量光方向相反，被分光棱镜反射后与参考反射镜反射的参考光发生干涉；干涉信号被光电接收器接收。本发明通过对实时扫描，实现对整个被测对象表面的振动速度、加速度、位移等振动参数及其分布的测量，具有结构简单、体积小巧、扫描精度高、扫描速度快的优点。

主权项

1.一种基于声光调制的扫描激光测振仪，其特征在于：主要由激光器(1)、分光棱镜(2)、声光调制器(3)、光阑(4)、被测振动表面(5)、参考反射镜(6)、光电接收器(7)组成；激光器(1)的出射光被分光棱镜(2)分为参考光和测量光；测量光经声光调制器(3)衍射、光阑(4)选择后得到一级衍射光，一级衍射光照射到具有漫反射特性的被测振动表面(5)，部分反射光原路返回后再次被声光调制器(3)衍射，衍射后得到的一级衍射光与原测量光方向相反，被分光棱镜(2)反射后与参考反射镜(6)反射的参考光发生干涉；所述干涉信号被光电接收器(7)接收，用于后续的信号处理系统。