[发明专利]附加结构与顶电极分离的体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 201910466991.5 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN111010111A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，具有电极连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述谐振器还包括附加结构，所述附加结构设置在顶电极的边缘且顶电极与附加结构之间具有间隙；所述谐振器还包括不导电材料层，所述不导电材料层填充所述间隙且覆盖所述附加结构的至少一部分和/或所述顶电极的至少一部分。本发明还涉及一种具有上述半导体器件的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 附加 结构 电极 分离 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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